振鴻興聊研磨液的利與弊

大部分選擇化學研磨液混合拋光磨料對集成電路芯片表面進行研磨拋光加工，集成電路芯片在加工流程中極為重要工藝是研磨，這種化學上的研磨工藝流程幾乎包涵集成電路芯片加工過程的各個環(huán)節(jié)，集成電路芯片表面質(zhì)量的較為重要影響因素是研磨液。

1.幾種普遍常見的研磨液：
①金剛石研磨液：添油或加水進行稀釋，更有效、更方便、無公害、沒有腐蝕性等亮點。金剛石粒狀氏硬度好，顆粒度勻稱，研磨拋光作用好。
②藍寶石研磨液：藍寶石研磨液能在研磨拋光環(huán)節(jié)中維持高切削速度，不會輕易割傷工件是充分利用聚晶金鋼石的特殊性的緣故，通常使用在藍寶石襯底的打磨處理和表面薄化。
③氧化鋁研磨液：拋光研磨工件類產(chǎn)品有許多種，可配用差異化濃度的氧化鋁研磨液，磨削時間短可以節(jié)省時間成本，提高生產(chǎn)效率，工件表面研磨拋光后相對光滑細膩。
2.氧化鋁研磨液的利處是：
(1)鋁是電熱良導體，氧化鋁是電熱絕緣物。
(2)研磨拋光穩(wěn)定性好。
(3)切力穩(wěn)固，性價比高。
(4)品類非常多，可粗拋光研磨細拋光研磨，視集成電路芯片材料而定。
3.氧化鋁 研磨液的弊端是：
(1)發(fā)散穩(wěn)定度較差，易積淀，易團結凝固。
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