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硅溶膠拋光液是一種化學(xué)機(jī)械拋光液,主要用于硅片、精密光學(xué)表面的平坦化加工中。硅溶膠磨料是在納米級(jí)的二氧化硅表面包覆一層膠狀物,可以減小磨粒形狀的不規(guī)則性、降低表面硬度,在化學(xué)機(jī)械拋光中最大限度的減少對(duì)工件表面的損傷 。硅溶膠拋光液的特點(diǎn)是去除率高,拋光性能穩(wěn)定,精密的拋光質(zhì)量,Ra<0.2nm。
硅溶膠拋光液主要分為銅拋光液、鎢拋光液、硅拋光液和鈷拋光液等類別。其中,銅拋光液和鎢拋光液主要用于邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片制造過(guò)程。在 10nm 及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)中,鈷將部分代替銅作為導(dǎo)線,硅拋光液主要用于硅晶圓初步加工過(guò)程中 。
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